晶圆镀铜柱Pillar：专为镀铜柱工艺设计，工艺流程简单，产品性能稳定。
操作条件
参 数
范 围
最 佳 值
铜浓度
45 – 55 g/L
50 g/L
酸浓度
90 - 110 g/L
100 g/L
温度
25 – 50 ℃
40 ℃
REM-9001 润湿剂
5 – 20 ml
10 ml
REM-9002 光亮剂
1 – 5 ml
3 ml
REM-9003 整平剂
溶液搅动
强力搅动
电流密度
5 - 20 ASD
15 ASD
